AI요약

주사터널현미경(STM)을 이용한 시편 검사 시, 팁 변형에 따른 복잡하고 시간 소모적인 팁 처리 과정은 연구 효율을 저해하는 문제점이었습니다. 시편 교체 과정에서 진공이 손실되고 위험성이 발생하기도 합니다. 본 발명의 시편 검사기는 시편과 팁 사이에 회전 이동 가능한 스테이지를 배치하여, 팁 처리용 타겟을 스테이지에 통합함으로써 이 문제를 해결합니다. 사용자는 시편을 제거할 필요 없이 스테이지 회전만으로 팁 처리와 시편 검사를 선택적으로 수행할 수 있습니다. 이는 기존의 번거로운 교체 절차를 생략하고 검사기 내부의 고진공 상태를 안정적으로 유지시켜, 시간과 비용을 절감하며 연구 생산성을 획기적으로 높일 수 있는 효율적인 해결책을 제공합니다.