AI요약

기존 단결정 금속포일 제조는 두께 및 면적 제한, 그리고 기판 접촉으로 인한 결정립 성장 피닝 및 열변형 응력 문제로 고품질 대면적 생산이 어려웠습니다. 본 기술은 이러한 한계를 극복하기 위해, 다결정 금속포일을 챔버 기저면과 이격시켜 열처리 시 발생할 수 있는 응력과 접촉을 최소화하는 혁신적인 제조 방법을 제안합니다. 고정 부재를 활용하여 금속포일을 곧게 펴진 상태로 매달아 열처리함으로써, 결정립 성장을 방해하는 요소를 제거하고 포일의 양면이 균일하게 단결정화되도록 합니다. 이를 통해 구리, 니켈, 코발트 등 다양한 전이금속 포일을 5~200㎛ 두께로 고품질 대면적 단결정으로 제조할 수 있습니다. 본 기술로 생산된 단결정 금속포일은 우수한 전기전도성과 열전도성을 바탕으로 인쇄회로기판, 방열판 등 전기전자 부품 소재로 활용될 수 있으며, 그래핀 등 2차원 나노소재의 대면적 합성용 고품질 촉매 기판으로도 광범위하게 적용되어 차세대 전자소재 및 촉매 산업 발전에 크게 기여할 것입니다.