AI요약

기존 플래시 메모리 및 DRAM은 고집적화에 따른 규모 한계와 전하 저장 방식의 근본적인 전력 소모 문제에 직면하고 있습니다. 본 기술은 전도체 층 사이에 금속산화물 부도체 층과 금속 나노입자 층을 포함하는 비휘발성 저항 변화 메모리(RRAM) 소자 및 그 제조 방법을 제안합니다. 특히, 랭뮤어-블로젯, 레이어-바이-레이어, 또는 스핀코팅 조립을 통해 형성된 1층에서 10층 사이의 금속 나노입자 층이 핵심입니다. 이 독창적인 구조는 기존 MIM 구조 대비 셋(set) 및 리셋(reset) 전류를 1~3 차수 이상 감소시켜 메모리 소자의 전력 소모를 획기적으로 줄입니다. 또한 우수한 내구성, 데이터 보유율 및 다중 셀(MLC) 동작 기능을 제공하여, 고집적, 저전력 차세대 비휘발성 메모리 시장에 혁신적인 솔루션을 제공합니다.