AI요약

기존 세리아 나노입자 제조 방법은 고온 공정, 불균일한 입자 크기, 낮은 결정성, 제한적인 대량 생산 등으로 반도체 CMP 공정 적용에 한계가 있었습니다. 본 기술은 이러한 문제 해결을 위해 20~100℃ 미만의 낮은 온도에서 세륨 전구체, 계면활성제, 유기용매 혼합물에 물을 첨가하여 반응시키는 유수성 졸-겔 방식을 제안합니다. 이 독창적인 저온 공정을 통해 2~20nm 범위의 균일하고 고결정성을 지닌 세리아 나노입자를 대량으로 생산할 수 있습니다. 제조된 나노입자는 표면에 계면활성제가 피복되어 유기물과의 혼화성도 뛰어납니다. 이 기술은 반도체 CMP 연마제로서 스크래치 없이 우수한 평탄화 성능을 제공하며, 고체 산화물 연료전지의 전극 및 전해질, 삼극 촉매 등 다양한 첨단 분야에 효율적으로 적용 가능하여 산업 전반의 기술 경쟁력을 강화할 수 있습니다.