대면적 샘플용 x선 홀로그래피 현미경 측정장치 및 측정방법

[기술 요약] 기존 X선 홀로그래피 현미경은 대면적 샘플 측정 시 거리 제약으로 인해 조사 면적이 넓어져 분해능이 저하되고 노출 시간이 길어지는 문제가 있었습니다. 본 기술은 샘플의 자기상관 신호를 제거하여 레퍼런스와 샘플 사이의 거리 제약을 없애는 방식으로 이 문제를 해결합니다. 레퍼런스가 없거나 폐쇄된 상태의 홀로그램 이미지와 레퍼런스가 노출된 상태의 홀로그램 이미지를 각각 획득한 뒤, 이 두 이미지를 퓨리에 변환하여 비교하고 그 차이를 통해 숨겨진 샘플 이미지를 복원합니다. 이 방법을 통해 샘플과 레퍼런스 간 거리를 획기적으로 단축하여 대면적 샘플도 효율적으로 측정할 수 있습니다. 또한, 기존 대비 노출 시간을 크게 줄여 측정 비용 절감 및 샘플 손상 방지에 기여합니다.

기술 분야

X선 홀로그래피 현미경

기관

기초과학연구원

등록번호

1017221640000

키워드

X선 현미경 기술, 노출 시간 단축, 비파괴 검사, 자기상관 신호, 대면적 현미경, 첨단 산업 응용, 현미경 측정, 광학 현미경, 분석 장치 개발, 퓨리에 변환, 3D 이미징, X선 홀로그래피, 거리 제약 해소, 샘플 이미징, 홀로그램 이미지, 반도체제조, 광학기기, 이미징기술, 물질분석, 의료기기, 디스플레이