AI요약

기존 X선 퓨리에 변환 홀로그래피는 대면적 샘플 측정 시 샘플과 레퍼런스 간의 거리 제약으로 넓은 조사 면적, 낮은 분해능, 긴 노출 시간 등의 문제에 직면했습니다. 본 기술은 샘플의 자기상관 신호를 제거하여 이러한 거리 제약을 무력화하는 X선 홀로그래피 현미경 측정장치 및 방법을 제안합니다. 레퍼런스가 없는 샘플과 레퍼런스를 추가한 샘플의 홀로그램 이미지를 각각 획득한 후 퓨리에 변환하여 두 이미지의 차이를 분석함으로써 숨겨진 샘플 이미지를 복원합니다. 이 방법을 통해 대면적 샘플의 측정 효율을 획기적으로 개선하고, 기존 대비 노출 시간을 단축하여 시스템 운용 비용 절감 및 샘플 손상 방지에 기여할 수 있습니다.