서지주요정보
Chemical-mechanical planarization of semiconductor materials
서명 / 저자 Chemical-mechanical planarization of semiconductor materials / M.R. Oliver (ed.).
저자명 Oliver, M. R. (Michael R.), 1943-
발행사항 Berlin ; New York : Springer, c2004.
총서명 Springer series in materials science ; v. 69

소장자료

등록번호

0000906

소장위치/청구기호

과학문화센터 / 621.38152 O481c

도서상태

배가중

반납예정일

예약

서지기타정보

서지기타정보
LCCN 2003059075
ISBN 9783540431817 :▼c$328.16 3540431810 (alk. paper)
청구기호 621.38152 O481c
형태사항 x, 425 p. : ill. ; 25 cm.
언어 English
서지주기 Includes bibliographical references.
주제 Semiconductors --Materials.
Grinding and polishing.
Chemical mechanical planarization.
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